Čištění

Čištění plynů
Anorganická regenerovatelná média pro čištění plynů pracují při okolní teplotě na úrovni ppt – inovativní produkty a technologie Entegris na řízení mikrokonatminace plynů pomáhají zajišťovat, aby naši zákazníci byli vybavení nejmodernějšími technologiemi a byli připraveni na výzvy budoucích pokročilých zařízení, fotovoltaiky, biologických věd a lithium-iontových baterií.

Čištění kapalin
Odstranění kontaminujících kovových iontů pomocí technologií Entegris na čištění kapalin přináší nejvyšší ochranu před kontaminujícími kovovými ionty, protože poskytují vysokokapacitní a jednoúrovňové odstranění kovových iontů z ultračisté vody a některých organických rozpouštědel. Ideální pro kritické čisticí aplikace včetně opláchnutí deionizovanou při recirkulaci a jednoúrovňových procesních nástrojů, sušení destiček a čištění po CMP.