Filtrace

Společnost Entegris nabízí filtrační řešení, která využívají různé technologie filtračních médií s různými filtračními vlastnostmi, a analytické služby, které jsou určeny k detekci kontaminace v technologickém prostředí a k analýze/kontrole materiálů.

Filtrace plynů

Technologie filtrů z niklu, nerezové oceli a Teflonu®. Filtrační produkty společnosti Entegris pro výrobu ultračistého plynu nabízí filtry zachycující částice od velikosti 0,003 mikronů. Plynové filtry Wafergard® nabízí vyšší průchodnost procesního plynu a zároveň snižují celkovou stopu plynu v boxu. Produkty společnosti Entegris pro výrobu ultračistého plynu využívají všichni přední výrobci polovodičů OEM a výrobci zařízení u svých nástrojů pro leptání, povlakování CVD a PVD a iontovou implantaci, dále se využívají v oblasti vysoce účinných aplikací (například při výrobě fotovoltaických zařízení, plochých panelových displejů, úložišť dat a superjasných LED), v oblasti biologických věd nebo při výrobě lithium-iontových baterií. Naše čističe plynů v sobě mají zabudované plynové filtry společnosti Entegris a díky tomu dokážeme vyrobit a vyčistit plyny tak, aby nebyly kontaminované molekulami ani částicemi.

Filtrace kapalin

Řízení kontaminace procesních kapalin. Řízení kontaminace se neustále vyvíjí, přispívá k technologickému pokroku a přináší zlepšení v oblasti výroby polovodičů, plochých panelových displejů, úložišť dat a fotovoltaických článků, v oblasti biologických věd nebo při výrobě lithium-iontových baterií. Výroba kaší pro CMP (chemicko-mechanickou planarizaci), kyselin, zásad, fotochemických produktů nebo deionizované vody vyžaduje pokročilou filtraci, která odstraní závadné částice a aglomeráty ještě než se usadí na povrchu destiček nebo substrátu. Společnost Entegris nabízí kompletní sortiment filtrů, které poskytují řešení otázky řízení kontaminace dle požadavků našich zákazníků.